【化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積～～】化學(xué)氣相沉積是一種制備材料的氣相生長方法，它是把一種或幾種含有構(gòu)成薄膜元素的化合物、單質(zhì)氣體通入放置有基材的反應(yīng)室 ， 借助空間氣相化學(xué)反應(yīng)在基體表面上沉積固態(tài)薄膜的工藝技術(shù) 。
物理氣相沉積技術(shù)表示在真空條件下，采用物理方法，將材料源 ， 即固體或液體，表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子，并通過低壓氣體過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù) 。
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