【光刻機(jī)是怎么運(yùn)輸?shù)摹?/strong>1、氣墊運(yùn)輸，光刻機(jī)運(yùn)輸中需要保證全程加氣墊 ， 避免因?yàn)檎饎?dòng)而使內(nèi)部遭到破壞 。
2、真空木箱打包，因?yàn)楣饪虣C(jī)運(yùn)輸要保持全程恒溫恒壓，所以要使用真空木箱打包技術(shù) 。
3、恒溫氣墊車運(yùn)輸，光刻機(jī)運(yùn)輸過程中，溫度要保持在26度，濕度要保持在40度，因此要用特種運(yùn)輸車輛來運(yùn)輸 。
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