1、光刻機（Mask Aligner) 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是制造芯片的核心裝備 。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上 。
【光刻機是什么意思】2、生產集成電路的簡要步驟：利用模版去除晶圓表面的保護膜 。將晶圓浸泡在腐化劑中 ， 失去保護膜的部分被腐蝕掉后形成電路 。用純水洗凈殘留在晶圓表面的雜質 。
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