二次離子質(zhì)譜法對(duì)于大部分元素都有很高的探測(cè)靈敏度其檢測(cè)下限可達(dá)百億分之幾的數(shù)量級(jí) 。
【什么是二次離子質(zhì)譜分析法】痕量分析二次離子質(zhì)譜法有極高的分辨率，可以達(dá)到十億分之幾的數(shù)量級(jí) 。進(jìn)行這種分析要求排除所有可能影響結(jié)果的干擾，防止表面吸附物污染被測(cè)試表面 ， 測(cè)試要在高真空和高純度的離子束條件下進(jìn)行 。
定量分析采用的是以標(biāo)樣為基礎(chǔ)的分析方法，二次離子分析器的能帶通道確定之后，就能使用元素的相對(duì)靈敏度系數(shù)對(duì)樣品進(jìn)行確切的分析 。
深度分析的一般方法是監(jiān)控樣品中某元素的二次離子信號(hào)隨濺射時(shí)間的變化，對(duì)于均
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