去離子水，又被稱為純水或高純水 。傳統工藝是陰陽床加混床制作，現在通用工藝是RO反滲透加混床制作，更先進的是RO反滲透加ED制作 。
【如何制得去離子水】首先先通過RO反滲透膜脫除水中百分之九十九以上的雜質，再用此水質做超純去離子水，這時離子交換樹脂在含有少量電解質溶液中進行，即可比較徹底去除水中的各種陰、陽離子，而且使用時間和壽命都會明顯增長，水質可達到很高的純度 。離子交換是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段 。在工業生產及實驗室的實驗中 ， 如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水，那么 ， 許多參數會更接近設計或理想數據，產品質量將變得易于控制 。
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