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1、 1強研發(fā);d投資:光刻機是一項高精尖技術(shù),其技術(shù)難度是全世界公認的 。如果沒有持續(xù)和強有力的研發(fā);d投資,是不可能領(lǐng)先技術(shù)的 。自成立以來,ASML在研發(fā)方面投入了大量資金 。d .例如,2019年,ASML的銷售額約為21億歐元,而R & ampd支出達到4.8億歐元,占收入的22.8%,這是一個非常高的比例 。由于大量的資金投入,ASML在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域一直處于領(lǐng)先地位 。
2、 美國和歐盟的支持:ASML雖然是荷蘭公司,但背后有歐盟和美國的實力,很多關(guān)鍵技術(shù)都是美國和歐盟國家提供的 。比如德國先進的機械技術(shù)和世界一流的蔡司鏡頭,再加上美國提供的光源,使得ASML公司在光學技術(shù)上發(fā)展迅速,幾乎達到了無人能及的地位 。
3、 準確把握技術(shù)拐點:目前光刻機有三大頂級廠商,分別是ASML、尼康、佳能 。在2007年之前,這三家廠商的差距并不大,競爭的轉(zhuǎn)折點在2007年 。2007年,ASML與TSMC技術(shù)方向合作,引進了193 nm光源浸沒系統(tǒng),將液體引入光學鏡頭和硅片作為介質(zhì) 。在原有光源和透鏡的條件下,可以顯著提高刻蝕精度,成為高端技術(shù)的主流技術(shù)方案 。當時日本的尼康和佳能主推157 nm光源的干法光刻 。這條路線后來被市場拋棄,成為尼康和佳能進入衰退期的轉(zhuǎn)折點 。后來,它被ASML壟斷了 。
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